韩国原装进口紫外线灯CR200M

低压汞灯（low pressure mercury lamp）指汞蒸气压力为1.3～13Pa（0.01～0.1mmHg），主要发射波长在紫外区的253.7nm（0.01mmHg），相当能量为471.0kJ/mol（112.5kcal/mol），占灯的总能量的70%的汞蒸气弧光灯。25℃时，该灯的主射线为253.7和184.9nm。低压汞灯光强低，光固化速度慢，但发热量小，不需冷却就可使用，在印刷制版上用得较多。主要应用作杀菌灯、荧光分析、光谱仪波长基准。这类灯又称灭菌灯，主要分类为：冷阴极辉光放电灯和热阴极弧光放电灯。低压汞灯点燃时汞蒸气压小于一个大气压，此时汞原子主要辐射波长为253.7nm的紫外线。常用的“日光灯”灯管内壁涂以卤磷酸钙荧光粉，再将紫外线转变为可见光。节能型荧光灯内壁涂有稀土荧光粉，发光效率更高。i线步进式光刻机NSR-SF150,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率7.5KW，型号：NLi-7500AL2D。韩国原装进口紫外线灯CR200M

曝光机设备上配置椭圆镜，镜面有做涂层处理。椭圆镜作用是协助光源发出的紫外线波长(365nm，405nm，436nm)无法穿过椭圆镜的镜面，紫外线光反射回来，500nm以上的红外线透过椭圆镜的镜面，释放掉热量。灯箱内常时通入氮气，吹向冷却紫外线灯及椭圆镜，降低灯箱内氛围温度，通过常时排气，带着多余热量，是高压汞灯稳定工作。佳能面向FPD工厂的曝光机，设备型号：MPAsp-E813，MPAsp-H803，MPAsp-H763，内部标配椭圆镜，型号：Y60-5340-000。NIKON EXPOSURE紫外线灯ONL-12000B告别暗淡，迎接光明，超高压汞灯、金属卤素灯，工业紫外线灯新选择。

工件台为光刻机的一个关键，由掩模样片整体运动台（XY）、掩模样片相对运动台（XY）、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。其中，样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。

紫外线椭圆形反射镜适合用来简化系统设计和安装。椭圆形反射镜可使用两个焦点来消除组件内采用多个聚焦元件的需要。当光源放在焦点时，光源将会重新聚焦到第二焦点。本品提供两种反射镜镀膜供您选择。冷反射镜镀膜可反射可紫外线光，同时可透射近红外光，使其成为冷凝式应用的理想选择。 精密椭圆形反射镜经过精密抛光，可生成准确的非球面。这些反射镜提供改进的热稳性和强大的聚焦效率，以及商用的压膜反射镜。普遍使用的应用包括用于LCD生产的曝光机设备。i线步进式光刻机NSR-SF110,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯，功率3.5KW，型号：NLi-3500AS。

ORC制作所生产超高压汞灯，英文：super high pressure mercury lamp，点灯时，汞蒸气压力为100～10000KPa，主要发射波长在365nm，395nm，405nm，436nm，累计光量可达数千kJ/mol(52.3kcal/mol)的汞蒸气弧光灯。短弧超高压汞灯是一种装有一对钍钨电极的球形石英玻壳放电灯。玻壳内充少量启动氩气和定量的汞,极间距离0.2～8mm,功率1,000～350,000W,工作时形成“电极稳定型”电弧, 一般采用垂直点灯,强制风冷。短弧超高压汞灯的有效寿命为750～3000h, 。 短弧超高压汞灯是辐射极强的长波紫外光源应用于集成电路光刻制版工艺。强劲光明，金属卤素灯带你迈向更明亮的未来。NLi-2510AHL紫外线灯

i线步进式光刻机NSR-2205i12,用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯，功率2KW，型号：NLi-2011AHL。韩国原装进口紫外线灯CR200M

高压汞灯光学扩散基于非成像光学的光学扩展量概念,结合冷反光碗方程,平面镜，反射镜等光学镜组，将光源发光弧长内部的强度分布和角度分 布作为权重函数,导出了出射光斑的光能量分布,分析了带反光碗的超高压汞灯出射光斑的光学扩展量.根据理论分析模型,实际模拟了输出光斑的光能分布与光学 扩展量的关系曲线.为了验证分析方法的正确性,提出采用积分球测量光学扩展量和光能分布的方法,实验测量并验证了模拟得到的曲线,从而为照明系统的设计提 供了有价值的参考.韩国原装进口紫外线灯CR200M